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MoSimultilayercoating相关论文
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
Mo/Si多层膜镀膜工艺是极紫外光刻的关键技术之一,为了优化并提升Mo/Si多层膜的镀膜工艺,研究了气压、靶-基底间距这两个工艺参数......
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薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
thin films
Mo/Si multilayer coating
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